產(chǎn)品描述：

Lab2000 Auto系列是一種多功能鍍膜設備（熱蒸發(fā)/熱阻蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)可選），設計用于滿足科研工作者和電子顯微學家的需求。

可配備各種真空系統(tǒng)、真空腔室和標準化工藝附件，提供一系列實驗技術(shù)以滿足現(xiàn)代化實驗室的需要。可選擇配置鐘罩式玻璃腔室、圓柱形玻璃腔室，也可以配置通用的前開門式不銹鋼箱式腔室。腔室具有額外的高度與寬度，適用于安裝較多的工藝附件。

客戶可選擇的模塊化工藝附件，包括熱阻蒸發(fā)源及其控制電源、電子束蒸發(fā)源、遮擋板、基片夾具以及膜厚監(jiān)控儀等。

真空系統(tǒng)由觸屏PLC控制和監(jiān)控，易于操作；高真空泵選擇包括擴散泵、渦輪分子泵、冷凝泵，并使用油封或干式泵作為支持泵。集成的具有備用電池的高真空閥門可在意外情況時保護泵和樣品。

產(chǎn)品特點：

觸屏PLC自動控制真空系統(tǒng)

多種可選薄膜沉積源和電源

多種可選樣品夾具

多種可選真空腔室

智能高真空閥門保護泵及樣品

緊湊型設計，最小化空間占用

無需壓縮空氣

完整的安全使用互鎖保護

主要應用：

抗反射涂層

半導體

鏡面

介質(zhì)層

有機物/聚合物和OLED

光電子研究

復合物半導體

太陽能電池

納米技術(shù)